Liga process and mechanical micro engineering / J. Mohr in Récents progrés en génie des procédés, VOL 10 N° 46 ([23/05/1996])

Public ISBD [article]  inRécents progrés en génie des procédés > VOL 10 N° 46 [23/05/1996] . - p. 119 Titre : Liga process and mechanical micro engineering : Two process techniques to fabricate micro structures With implications in micro mechanics, micro optics And micro fluidics Type de document : texte imprimé Auteurs : J. Mohr, Auteur ; J. Göttert, Auteur Année de publication : 1996 Article en page(s) : p. 119 Langues : Anglais (eng) [article] Liga process and mechanical micro engineering : Two process techniques to fabricate micro structures With implications in micro mechanics, micro optics And micro fluidics [texte imprimé] / J. Mohr, Auteur ; J. Göttert, Auteur . - 1996 . - p. 119. Langues : Anglais (eng) in Récents progrés en génie des procédés > VOL 10 N° 46 [23/05/1996] . - p. 119

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