[article] 
inRécents progrés en génie des procédés > VOL 9 N° 42 [21/09/1995] . - p. 01

Titre :	Analyse et modélisation du dépôt LPCVD de nitrure de silicium à partir de silane et d'ammoniac
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	K. Yacoubi, Auteur ; C. Azzaro-pantel, Auteur
Année de publication :	1995
Article en page(s) :	p. 01
Langues :	Français (fre)

[article] Analyse et modélisation du dépôt LPCVD de nitrure de silicium à partir de silane et d'ammoniac [texte imprimé] / K. Yacoubi, Auteur ; C. Azzaro-pantel, Auteur . - 1995 . - p. 01.
Langues : Français (fre)
in Récents progrés en génie des procédés > VOL 9 N° 42 [21/09/1995] . - p. 01