Cinétique de croissance et de dissolution des clusters et effet des trés forts dopages sur la diffusion du dopant dans des films minces de polysilicium / Abadli S.,F. Mansour in Technologies avancées, 17 ([02/01/2005])

Public ISBD [article]  inTechnologies avancées > 17 [02/01/2005] . - P9-14 Titre : Cinétique de croissance et de dissolution des clusters et effet des trés forts dopages sur la diffusion du dopant dans des films minces de polysilicium Type de document : texte imprimé Auteurs : Abadli S.,F. Mansour, Auteur Année de publication : 2005 Article en page(s) : P9-14 Langues : Français (fre) [article] Cinétique de croissance et de dissolution des clusters et effet des trés forts dopages sur la diffusion du dopant dans des films minces de polysilicium [texte imprimé] / Abadli S.,F. Mansour, Auteur . - 2005 . - P9-14. Langues : Français (fre) in Technologies avancées > 17 [02/01/2005] . - P9-14

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