[article] 
inTechnologies avancées > 17 [02/01/2005] . - P9-14

Titre :	Cinétique de croissance et de dissolution des clusters et effet des trés forts dopages sur la diffusion du dopant dans des films minces de polysilicium
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Abadli S.,F. Mansour, Auteur
Année de publication :	2005
Article en page(s) :	P9-14
Langues :	Français (fre)

[article] Cinétique de croissance et de dissolution des clusters et effet des trés forts dopages sur la diffusion du dopant dans des films minces de polysilicium [texte imprimé] / Abadli S.,F. Mansour, Auteur . - 2005 . - P9-14.
Langues : Français (fre)
in Technologies avancées > 17 [02/01/2005] . - P9-14